سیستم پمپ وکیوم خلاء در صنعت خلاء برقی
علاوه بر خواص مکانیکی و خاصیت پردازش ، مواد ساختاری خلاء الکتریکی باید الزامات سایر خصوصیات را نیز برآورده سازند: آسان چربی زدایی ، فشار بخار اشباع کم ، پایداری شیمیایی خاص ، خلوص و پاکیزگی خاص ، توانایی تابش مناسب ، خاصیت دما و خاصیت نوری . بنابراین فرآیند پمپ وکیوم آبی خلاء الکتریکی ویژه است ، و موارد تمیز کردن آن بسیار سخت است ، بنابراین آلودگی قطعات باید حداکثر برداشته یا کاهش یابد.
تولید لوله های الکترونیکی ، نصب لوله ها و پردازش قطعات باید در اتاقی کاملاً بسته انجام شود. دیوارها و سقف های اتاق با پوشش نیمه براق با کیفیت بالا و رنگی ضخیم پوشیده شده اند. کف باید با ترکیب آسفالت تمیز و موم شده یا کاشی یخ زده پوشانده شود. هوا باید در دو یا چند مرحله فیلتر شود. رطوبت نسبی را زیر 50٪ نگه دارید.
در اتاقی که نصب دقیق انجام شود ، تعداد پرسنل باید تا حد ممکن کوچک باشد. قطعات و لوازم دیگر از طریق درهای کشویی کمد تحویل داده می شود. اتاق ریز ریز از اتاق بزرگ تهویه مطبوع جدا شده است. هوا در اتاق داخلی باید بیشتر فیلتر شود. علاوه بر دهانه های تهویه مطبوع و فیلتر ، دیوارها ، کفها ، سقفها و درها باید تا حد امکان محکم بسته شوند. مصالح ساختمانی مانند گچ ، تخته ساختمان ، تخته چوب و سیمان روی دیوار به طور یکنواخت با براق درجه بالا یا رنگ نیمه براق پوشانده شده است.
برای کار با نیازهای ویژه ، از اجاق گاز خشک کن برای جلوگیری از کثیفی (نفس کشیدن اپراتور ، پوست سر و غیره) استفاده کنید که با روشهای دیگر قابل انسداد نیست. در صورت لزوم ، به عنوان مثال ، هنگام پردازش سطح کاتدی که فعال می شود ، اجاق خشک کن فقط می تواند از گاز بی اثر خاص استفاده کند.
به منظور پاسخگویی به نیازهای تولید فرایند IC ، کارگاه باید مطابق با استانداردهای سطح اتاق تمیز مطابقت داشته باشد.
زیرا اصل کار انواع دستگاه های خلاء برقی بر اساس میدان الکتریکی و میدان مغناطیسی است تا بتواند حرکت الکترون ها در فضا را کنترل کند تا بتواند به هدف تقویت ، نوسان و ارائه تصویر برسد. بنابراین ، سیستم پمپ خلاء می تواند از برخورد بین الکترون ها و مولکول های گازی جلوگیری کند ، قانون حرکت الکترون ها در فضا را تضمین کند ، از مسمومیت با اکسیداسیون کاتد از انتشار الکترون های گرم جلوگیری کند و از کار عادی دستگاه های الکترونیکی با پمپاژ درجه خلاء مختلف مورد نیاز دستگاه های خلاء الکترونیکی مختلف
سیستم پمپ خلاء در صنعت خلاء برقی
نویسنده:
